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    GC（Gas Cabinet，特氣柜）和GR（Gas Rack，特氣架）是特氣輸送系統(tǒng)中的核心設(shè)備，主要用于危險(xiǎn)性氣體（如易燃易爆、腐蝕性、毒性氣體）的安全存儲(chǔ)與供應(yīng)。以下是兩者的功能解析及區(qū)別：

1. GC特氣柜

• 定義與功能
      GC專為高危險(xiǎn)性氣體設(shè)計(jì)，具備防爆、密封性強(qiáng)的特點(diǎn)，鋼瓶?jī)?nèi)置柜內(nèi)，通過PLC控制實(shí)現(xiàn)自動(dòng)吹掃、切換及緊急切斷功能

  。其核心作用包括：

• 
  

• 自動(dòng)切換：雙瓶或多瓶配置（如1Process/2Process/3Process），主氣瓶耗盡時(shí)備用氣瓶自動(dòng)供氣，確保連續(xù)性。

• 安全防護(hù)：內(nèi)置壓力傳感器、氣動(dòng)閥，配合吹掃氮?dú)猓≒N2）清除殘留氣體，防爆柜體防止泄漏擴(kuò)散。

• 高純度輸送：適用于半導(dǎo)體、光伏等對(duì)氣體純度要求極高的場(chǎng)景。

• 分類

• 單鋼瓶：實(shí)驗(yàn)室常用，成本低但需手動(dòng)換瓶。

• 雙鋼瓶：量產(chǎn)場(chǎng)景，自動(dòng)切換備用瓶，需注意吹掃氮?dú)夤?yīng)風(fēng)險(xiǎn)。

• 三鋼瓶：安全性最高，備用瓶用于吹掃，避免交叉污染。

2. GR特氣架

• 定義與功能
      GR用于惰性氣體（如氮?dú)狻鍤猓┑拇鎯?chǔ)，結(jié)構(gòu)較GC簡(jiǎn)化，無(wú)自動(dòng)吹掃功能，依賴人工換瓶。主要特點(diǎn)包括：

• 手動(dòng)操作：鋼瓶更換需人工完成，適合低危險(xiǎn)性氣體。

• 成本效益：減少電子傳感器和復(fù)雜管路，適用于實(shí)驗(yàn)室或小規(guī)模供氣。

3. GC與GR的核心區(qū)別

4. 應(yīng)用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體行業(yè)：GC用于高純度特氣（如PH?、SiH?）的穩(wěn)定供應(yīng)，GR用于保護(hù)氣體（如N?）的分配。

• 光伏/液晶面板：GC確保工藝氣體連續(xù)性，GR輔助惰性氣體環(huán)境維護(hù)。

5. 安全配套措施

• 氣體偵測(cè)：GC需配備GDS系統(tǒng)監(jiān)測(cè)泄漏，GR通常僅需氧氣濃度檢測(cè)。

• 尾氣處理：GC連接Local Scrubber處理吹掃廢氣，GR部分需處理氟化物尾氣。

• 通風(fēng)要求：GR通風(fēng)量≥198m3/h，GC需強(qiáng)制排風(fēng)防止氣體聚集。

總結(jié)

    GC和GR通過差異化設(shè)計(jì)滿足不同氣體的安全需求，共同構(gòu)成特氣系統(tǒng)的核心。GC以高安全性適配高危場(chǎng)景，GR則以經(jīng)濟(jì)性服務(wù)惰性氣體供應(yīng)，兩者協(xié)同保障生產(chǎn)安全與效率。