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裝置簡介:
用途:可用于氦氣、氮氣、氬氣、氧氣等氣體的純化,純化后氣體雜質含量小于 10ppb 或 1ppb。高壓純化器的出口壓力可達 10MPa 以上;低壓純化器的出口可達1MPa。
優點:裝置可同時容納 3 到 4 個純化器,并且可以根據需要進行移動,方便使用。裝置內部帶有壓力和流量顯示,可以隨時監測入口和出口壓力和氣體流量。