配氣及清洗系統 |
配氣站外觀示意圖 建配氣站內部結構 類似產品的照片 注射法配件 隔膜閥和針閥 配氣站性能說明: 1、配氣站的管路為內拋光不銹鋼管道。管道連接口及閥門為卡套形式,所使用的截止閥都是EP的隔膜閥。能耐強腐蝕性,強吸附性,高粘度的氣體。充裝端口和灌裝端口數量可以依照客戶需求定制。 2、配氣站含有兩路真空系統,高真空系統和低真系統,兩套真空系統與氣體充裝管路的高壓系統通過截止閥隔斷,可同時工作。無需停泵就可在配氣站系統內實現高壓——常壓——低真空——高真空——高壓的循環操作。(這點也是雙泵組真空系統的獨特優點。如果沒有低真空系統,只是使用高真空系統,如國內外某些配氣裝置,配氣站內的高壓放空后,需要先停泵,使分子渦輪泵的轉數先降來,然后再重新啟動分子渦輪泵對配氣站管道系統內的常壓氣體抽真空,以保護分子渦輪泵,延長其壽命。本系統使用的雙泵組系統中,對于放空后管路內的常壓氣體可以直接使用低真空系統抽真空,達到初級真空度后,直接轉到高真空系統抽真空,而無需停泵,大大提高了工作效率。) 3、配氣站采用的高真空系統使用的是德國PFEIFFER制造的分子泵組,泵口極限真空度可達1?10-7Pa。(國內配氣站通常使用的真空系統都是由機械泵構成的,極限真空通常是1?10-1——1?10-2Pa,真空度遠低于本系統的水平。)顯示分辨率0.1?10-7Pa。 4、低真空度系統由德國PFEIFFER制造的耐腐蝕隔膜泵組成,極限真空可達200Pa,可有效抽取強腐蝕性氣體,而不被腐蝕破壞。 5、 配氣站管路系統的最高耐壓為20MPa,顯示精度0.01 MPa。 6、 配氣站管路為1/4''EP管路可控溫加熱,溫度范圍:室溫~100℃,數字顯示溫度,控溫精度為1℃。對于強吸附性,高粘度的氣體成分通過加熱管路和高真空系統的強力抽取可有效去除其在系統內的吸附,同時還可以有效除去從空氣中進入到系統內的水汽、氮氣和氧氣等空氣成分,實現了管路系統內的絕對干凈,從而保證了標準混合氣制備的準確性。 7、 樣品鋼瓶、原料氣鋼瓶與配氣站管路的鏈接處采用的VCO接口,鏈接方便,而且密封性好,即能耐高真空也能耐高壓,在20MPa的壓力下都不會漏氣。 8、配氣站管路上的針形計量針閥可以精確調節控制原料氣體向樣品鋼瓶內的充裝速度,保證加入到樣品鋼瓶內的氣體質量與預充裝的質量相同,從而保證了充裝后標準混合氣的濃度與預先設計的濃度相同,方便了標準混合氣使用者的使用。 9、 本系統符合JJF 1344-2012和GBT5274-2008 充裝一次氣體的簡要操作流程: 1、打開配氣站總電源和各功能模塊的分電源。 2、將配氣用的母氣瓶和子氣瓶鏈接與配氣站的兩端。 3、檢查系統內壓力,確定小于等于一個大氣壓后方可連通真空系統。 4、用低真空系統對配氣站管路抽真空。 5、用高真空系統對配氣站管路抽真空。 6、用截止閥將真空系統與配氣管路截斷。 7、先后打開母氣瓶和子氣瓶的瓶閥,向子氣瓶內充氣,可以使用針閥控制充氣的速度。 8、根據電子天平顯示的讀數確定充氣終點,到達終點后,先后關閉子氣瓶和母氣瓶的瓶閥。 9、放空管路內的殘余氣體。 10、從配氣站兩端卸下子氣瓶和母氣瓶,完成一次充裝 |